産品描述: MEAS的氣體(tǐ)流量傳感元件(jiàn)由快(kuài)速響應的鎳熱(rè)膜和氮化矽基闆組成，以确保傳感器的高靈敏度和快(kuài)速響應速度。傳感器适合汽車行業的應用。芯片還(hái)包括一個用于補償環境溫度的參考傳感器，由與熱(rè)膜相(xiàng)同材料的鎳電阻薄膜制成。該型号利用兩片熱(rè)膜進行雙向測量，用于補償的參考傳感器則置于另一塊基闆上，測量實際空氣溫度。

特點:

• 高可(kě)靠性和長期穩定性
• 響應迅速
• 适合不同形狀的氣流通道
• 可(kě)以測量幾乎所有氣體(tǐ)和揮發物